Nano-indentation Tester

나노 스케일 계장화 압입 시험기로 나노미터에서 마이크로미터 깊이의 하중에 따른  Load, Displacement로 부터 기계적 표면 성질 측정이 가능함.

이용분야

금속, 반도체, 세라믹, 바이오소재 등 벌크시편, 박막, 산화물 등의 표면에서의 hardness, elastic modulus, creep 특성등의 측정에 사용.

제원

ModelNHT2
ManufactureCMS
Normal maximum load range0.1 to 500 mN
Load resolution0.04 μN
Maximum indentation depth20 μm / 200 μm
Depth resolution0.004 nm / 0.03 nm
resolution of X&Y tables0.25 μm per axis
Maximum indenter travel range500 μm
Objectivemicroscopes5x/20x/50x/100x
Equipment ID: e20130002